해상도: 0.3um검사범위: 460 x 410mmX-ray 검사장비
해상도: 0.3um검사범위: 310 x 310mmX-ray 검사장비
3D 전용 X-ray 검사 장비
해상도: 2um검사범위: 150 x 150mmWarpage 측정 장비
해상도: 2um검사범위: 400 x 400mmWarpage 측정 장비